静电是洁净厂房很难控制的因素之一

       静电可以使半导体器件生产中的废品增多、降低电子设备的稳定性。因此,在半导体器件的生产中,制造阶段都需要避免静电对器件的作用。
       选用合适的材料:
       洁净厂房装修要采用不易产生静电或产生静电后能较快泄漏的材料,多种材料共同使用时,应选用在电序列表中位置接近的材料。材料可归入电的导体或电的绝缘体。导体是电流能通过的材料,绝缘体是电流不能通过的材料。
       湿度控制:
       在众多消除静电的方法中,洁净厂房内湿度控制也被认为可以用来减少和消除净化车间静电。通过在环境中保持高的相对湿度,在该区域内物体的表面将形成薄薄的湿气层,利用这一薄层来提供导电的通道,使得可能产生的电荷流过该湿气层耗散静电荷。另外,薄薄的湿气层可以增加物体表面的润滑性,摩擦生电也将减少。一般来说,湿度越低,产生的电荷越多。但是资料表明,甚至在湿度高时也会产生显著的静电电压,但是,在高湿度环境中,生产人员可能会感觉很不舒服,部件可能生锈,并产生可焊性问题。同时,企图用湿度控制来消除静电的方法显然是高耗费的,尤是在干燥地区越是如此。

2021/08/26 10:40:22 219 次